开机前

在开启物料复合边缘/中心纠偏之前，必须做以下准备措施：

  • ▶分别对印刷图案纠偏传感器 CLS CAM 100 和边缘/中心纠偏的边缘传感器进行单独调试。
  • ▶对边缘传感器做材料设定。
  • ▶对图案识别传感器 CLS CAM 100 做设置（参见单独的 CLS CAM 100 传感器安装和操作手册，文件号 MD.577）。
  • ▶优化 CLS CAM 100 图案纠偏和边缘/中心纠偏的控制器增益。